真空测量与控制

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在几乎所有的真空系统和过程中,都需要测量真空性能及参数

随着真空应用领域的扩展,如今使用真空计测量的可测得压力范围非常宽。

莱宝真空计测量范围可从高于大气压(2000mbar)到低至10-12mbar(10-10Pa)。

但是并没有任何一种传感器技术能够覆盖如此宽泛的测量范围,因此,真空计有多种类型,每种真空计都有自己的特点,能够在各自的量程内测量真空。

为了扩大测量范围,可以组合使用多种真空计,也可以将多种技术组合到一个真空计中,以减少系统中所需的连接。

真空测量原理分类:直接测量和间接测量

如果是直接测量(测量结果气体种类无关),通过真空计获得的读数与气体类型无关,测得的压力是系统的真实压力。

这些真空计通常依靠膜片的机械偏转来运行,其测量范围是从高于大气压力至 10-4mbar。此类真空计可以在较小量程内提供高精度,并且通常非常坚固。

如果是间接测量,测量通过气体相关特性(例如热导率、电离概率)进行测定。这些特性不仅取决于压力,还取决于气体的摩尔质量,所以测量结果与气体种类相关。真空计读数以的空气或氮气标定,对于其他蒸汽或气体,必须增加相应的修正系数。此类真空计能够测量更广的压力范围(大气压至1 x 10-12mbar,具体取决于真空计类型/组合),但精度略低。

区分真空计的另一个判断依据是传感器还是变送器。

我们既提供真空变送器,也提供真空传感器。真空变送器是指将传感器与信号控制和输出电子器件结合在一起,以便轻松集成到系统中。传感器是指将电子器件单独保留在专用控制器中。其优点是,它们可在电子器件无法正常工作的环境(例如高辐射环境)中使用,并且可以从上述环境中移除单独的控制器。

选择合适的真空测量设备时,压强范围并不是唯一的准则。设备的运行工况起着重要作用,如果工艺中存在、振动、污染,气体冲击等问题,在选择真空计的时候要做相应考量。真空计对严苛的工况比较敏感,在使用它们时应先仔细阅读说明书,根据应用情况配置相应的保护措施。