传感器

与真空计不同，真空传感器只包括传感器部分，不包括电子器件。真空传感器将测量部件与控制器电子器件完全分开。连接到系统的表头仅包含物理测量所需的部件。

传感器部分也称为无源真空计、模块化真空计、被动真空计等。

有源真空计包括控制装置电子器件和实际传感器。这意味着有源真空计是一个紧凑的装置，内含完整的独立式表头和驱动器电子器件。传感器部分通过测量的信号产生电信号。

真空计通常需要 24V DC 供电，然后根据压强提供 0 - 10 V 信号输出。电子器件承受的加热除气温度被限制在 212°F (<100°C) 以下，在连接电子器件的情况下，可实现有限的加热除气。拆下电子器件后，加热除气温度则通常可达 150°C。

真空计输出信号（模拟或数字）需要需要通过电缆传输，因此其对辐射和磁场环境敏感。

因此真空传感器是专为电离辐射环境研发, 且应用于超高真空的测量。

Leybold 莱宝的无源 IONIVAC IE系列传感器使用热阴极电离技术来测量真空度，是超高真空领域的主要真空测量产品，具有较低测量成本和较高的精度。（需要与真空计控制器搭配使用！）

IE 414 采用 Bayard Alpert 技术，自带屏蔽保护，其阴极为镀氧化钇涂层的铱，阳极Pt/lr 90/10/pt丝

而如果要测量更低的压力，则需要降低X射线的影响。

IE 514 则为Extractor规，使用热阴极电离提取方法，可以大幅降低了X射线极限和离子吸收效应。

该系列每个传感器都经过单独校准，测量精确度高，且实现阴极可更换。

真空传感器控制器也是测量系统的一部分，所有其他电子器件均包含在控制器中，控制器通常还配备模拟电压输出、开关点继电器触点和数字接口等功能。

最后，还必须指出的是，与其他设备一样，真空计的维护对于其功能是否达到预期标准至关重要。所有类型的真空计都必须保持清洁，以确保压力读数可靠。

我们提供多种真空计产品，为大部分真空应用提供适合的真空测量解决方案。如果您有特殊要求或需要在真空计选择过程获得帮助，请与我们联系。