中真空真空计

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测量原理

如果测量的区间小于4个数量级(如10-4-- 1mbar),也可以选择机械真空规CTR系列

在低真空范围内主要通过直接测量的方法,通过相关的物理性质(如形变)可以直接计算出当前真空度。当真空度较高时,则只能通过间接测量气体粒子数密度相关的特性(例如,导热率、电离概率)来测量真空度。

这些特性不仅与压强有关,还与气体的分子量有关,所以间接法所获得的压强读数取与被测气体种类相关。间接测量真空规的读数通常设置为的空气或氮气,测量其它气体或蒸气时,必须使用相应的修正系数。

在中真空范围内主要使用的真空计为TTR系列(THERMOVAC 真空变送器)。

THERMOVAC 系列真空计,由金属丝构成惠斯登电桥的一根电桥臂。对施加在电桥上的加热电压进行控制,保证金属丝的电阻和温度均保持恒定。金属丝向气体传输的热量随着压强升高而增多,通过测量电桥的电压变化就可以获得实际的压强。

THERMOVAC 真空变送器

其测量原理为利用气体的导热率测量真空度,测量范围从10-5mbar到大气压,因此此类真空计称为热传导真空计(Pirani),也称皮拉尼真空计或皮拉尼规

对温度补偿进行相关改进后,使得真空计在温度变化较大时也能压强读数准确。

TTR系列真空计属于应用最广泛的一种真空计,其应用领域包括分析仪器与科研、真空干燥、控制电离规、工艺控制、工业应用、镀膜版增强了耐腐蚀的能力、粗真空系统的一般压强测量与控制

莱宝TTR-RN系列

TTR-RN系列为莱宝新系列皮拉尼规

其优化了关键传感器“灯丝”的结构和强度,提高了测量稳定性和耐用可靠性。可广泛应用于工业生产、电子制造、分析仪器、科学研究等各领域。

该系列真空计小巧、方便,操作简单,同时其有360 °C 灯环,使您在的远处可以直观的看到真空计状态,该功能尤其适合大型装置的操作。灯环不是只显示基本的“工作/不工作”信息,还可通过脉冲模式提供宝贵的压力指示,引导完成各种菜单设置。

Leybold 莱宝 THERMOVAC 皮拉尼真空计历史悠久,数十年来一直与 Leybold 莱宝的真空泵配合使用。

新型热丝技术是新款真空计的核心 提供两款热丝,钨丝适用于标准应用,铂丝适用于恶劣条件。为了达到“即装即用”的效果,我们可以帮您定制真空测量系统。除了热丝选择之外,所有 RN 系列真空计均配置集成式过滤器,以过滤更细的颗粒污染物。

莱宝提供三个型号的 THERMOVAC TTR 皮拉尼真空计产品。

 
灯丝材料
测量范围(mbar)
 
精确度(mbar)
 
重复性
工作环境温度
烘烤温度
压力表丝温度
TTR 91 RN
钨/铼
5x10-4...1000
100...1000 ±50%
1x10-3...100 ±15%
5x10-4...1x10-3 ±50%
1x10-3...100时2%
 
 
 
TTR 96 RN
铂/铱(耐腐蚀)
1x10-4...1000
10...1000 ±50%
1x10-3...10 ±15%
5x10-4...1x10-3 ±50%
1x10-3...10时2%
5℃...60℃
150℃(拆除原件外壳)
约100℃
TTR 97 RN
铂/铑(耐腐蚀)
5x10-4...1000
100...1000 ±50%
1x10-3...100 ±15%
5x10-4...1x10-3 ±50%
1x10-3...100时2%
 
 
 

可选连接法兰包括:16KF、25KF、1/8“NPT、4VCR、8VCR、Bare tube(裸管)、DN16CF。另外,S版本带有集成的继电器输出功能,可按需要选择。

在过去,灰尘和颗粒污染可能会在皮拉尼真空计内部造成问题,因为这些真空计的内部结构非常精密。但现在,凭借集成式的过滤器和可靠坚固的灯丝,可令您使用安心无虞,且测量范围更广。

Leybold 莱宝真空计从真空测量性能和连接的灵活性和工艺特点等维度考虑,提供多种型号产品适应客户的需求,同时遵守相关的国际标准,让客户使用更加安心。

TTR 101 系列

TTR 101是更适合测量超过100mbar的真空计

标准皮拉尼真空计的一个缺点是,在压力超过100mbar时,其测量精度较低。这可通过复合型THERMOVAC产品解决:TTR 101 系列将皮拉尼传感器与微型电容压力计相结合,使用微型电容压力计测量粗真空范围。这款复合真空计的压力测量范围为 1500 mbar至 5x10-5mbar。

真空计提供线性模拟 0-10V 输出或数字 (RS232/485) 和 EtherCAT 输出,让您可以灵活地选择适合的通信方式,同时还有配置集成显示屏的版本可供选择。

TTR 101 适用于几乎任何应用,其可靠性、精确度高,可用自动或数字输出带有显示功能的选项用于本地压力读数。

其他TTR系列

除了上述的TTR系列外,莱宝还有部分其他系列的TTR真空计,如TTR N系列,TTR R系列,TTR 200、TTR 911等。

TTR N系列真空计基于独特的MEMS技术和皮拉尼原理。镀膜版提高了耐腐蚀的能力,适合更严苛的应用,具有优越性价比。

TTR 200和PTR 200结合多种测量原理于一个变送器,非常适合进样室应用,该变送器可以精确测 量-1013mbar到1013mbar的相对压强 (相对于大气压),测量结果不受环境大气压的变化的影响,从而保证进样室快速高效地工作提高效率。

TTR911N和TTR916N还有配置触屏显示器和数字接口的版本。

如有其他问题,请随时咨询。