超高真空真空计

测量原理

在超高真空范围内，因为冷阴极电离规的非连续性、且在太低压力下放电延迟效应以及不稳定性等.需要使用的真空计为IONIVAC系列，采用热阴极电离真空技术。

热阴极电离真空规通常使用三个电极，热阴极发射电子到阳极，电子在飞行过程中与被测气体碰撞使其电离。然后通过测量在收集极（电极离子探测器）产生正离子电流，来测量真空度。

采用其它电极排布方式可获得较高的压强范围，从10^-1至10^-10mbar。要测量低于10^-10mbar的压强时，需要采用Redhead式超高真空分离规。由于该系统的特殊的几何布置，几乎可以完全排除X射线效应和离子解吸附之类的干扰影响。超高真空分离规允许测量的压强范围为10^-4mbar到10^-12mbar。

目前使用最多的热阴极传感器是BA（Bayard Alpert）型规。

IONIVAC 真空计系列

IONIVAC真空计分为有源(ITR)和无源(IE)，且都能测量超高真空。这可以对实验进行详细跟踪，并控制工艺中的可变因素。

根据所用的热阴极技术，热阴极电离传感器可提供10^-12至10^-1mbar的广泛测量范围。

ITR 系列（有源）

ITR 90是复合全量程真空变送器

其将BA热阴极电离传感器与皮拉尼传感器相结合，可测量的真空压强范围为5×10^-10mbar到1000mbar（适用于不可燃的气体与气体混合物），量程覆盖13个数量级（全量程规）。

其设计紧凑，电极几何结构牢固，采用电子轰击有效除气，在10^-2mbar到10^-8mbar压强段，测量的重复性好。

ITR 90变送器可选带集成显示器或带Profibus接口的版本。

ITR 200 S

ITR 200 S变送器是基于成熟的ITR 90变送器设计，采用双阴极结构，延长了变送器的使用寿命，提高了运行可靠性，如果其中一个热阴极烧坏，自动接通第二个阴极。为了进一步延长真空计的使用寿命，可以运行脱气程序，从而重新增强灯丝的性能。

ITR200将BA热阴极电离传感器与皮拉尼传感器相结合，可测量的真空压强范围至5×10^-10mbar（适用于不可燃的气体与气体混合物）

每个传感器单元还包含一个存有相关系统数据的存储芯片。更换传感器单元后自动校准，且可选带集成显示器和带Profibus接口的版本。

其他ITR系列

其他ITR系列如ITR90 PB、ITR200 SP/SD/SL等，可能有不同电气接口、不同的切换功能

如需更高真空环境的真空计，则需要无源（IE）系列真空传感器。（点击查看）或组合真空计（点击查看）

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