组合真空计
COMBIVAC CM
真空传感器适用于辐射和存在电磁干扰的应用环境。真空传感器需要和COMBIVAC CM系列控制器配合使用。
CM系列为紧凑型三通道控制器，用于台面安装/机架安装，其每个通道都能单独开启，且各个通道各自判断故障信息，例如，断丝、传感器线路有缺陷或者等离子放电失败等。
该系列整体操作简单，可通过SOFTLOCK（软锁）锁定键盘，每个测量通道配置两个可调切换阈值，压强单位可自由选择。
考虑到此类传感器常用于要求苛刻的工业和研究应用，该控制器拥有坚固的金属外壳，以保护电子元件免受污染，且电缆长度能支持达到100m。
其典型应用主要为高真空及超高真空的多用途真空度监测，如涡轮分子泵、扩散泵、低温泵系统，退火、熔融、钎焊和硬化炉系统，镀膜系统，辐射环境和高温环境及粒子加速器等。
CM系列有两款型号可供选择
CM 51型
量程: 1000 至 1 x 10-9mbar
CM 51型能够控制和显示THERMOVAC TR系列的2个皮拉尼真空计和 PENNINGVAC PR 系列的1个冷阴极真空计。
从THERMOVAC模式运行自动切换到PENNINGVAC模式运行（CM 51）
- 测量范围（mbar）
- 通道1、2 THERMOVAC(mbar)
- 通道3 PENNINGVAC(mbar)
- 测量通道数量
- 测量不确定性
- THERMOVAC(mbar)
- PENNINGVAC(mbar)
- 气体种类（可选择）
- 切换阈值
- 工作环境温度
- 5x10-4...1000
- 1x10-9...1x10-2
- 3
- ≤20%
- 1x10-8...1x10-4 ±30%
- 可调节
- 每个通道2个
- 5℃...50℃
CM 52型
量程: 1000 至 2 x 10-12mbar
CM 52 型能够控制和显示THERMOVAC TR系列的2个皮拉尼真空计和 IONIVAC IE 系列的1个热阴极真空计。
其超高真空传感器部分为BA测量系统IE414或extractor测量系统IE514（可选择）。
- 测量范围（mbar）
- 通道1、2 THERMOVAC(mbar)
- 通道3 IE 414 BA规(mbar)
- 通道3 IE 514 extractor规(mbar)
- 测量通道数量
- 测量不确定性
- THERMOVAC(mbar)
- PENNINGVAC(mbar)
- 气体种类（可选择）
- 切换阈值
- 工作环境温度
- 5x10-4...1000
- 2x10-11...1x10-2
- 2x10-12...1x10-4
- 3
- ≤20%
- ±10%显示值
- 可调节
- 每个通道2个
- 5℃...50℃
